SA Klausur

Wie wird ein Hall-Sensor hergestellt?

  • p- - dotiertes GaAs (C,Si)
  • Eindotieren der Schichten:
    • eindotieren von p-Schicht d=5-10µm
    • n-Wanne eindotieren (Tellur)
    • n+ - Kontakte eindotieren
    • Metallisierung für Kontakte aufbringen
    • depletion layer DL – Isolation
    • CC-Current contact
    • SC-sensor contact

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